校分析测试中心台阶仪试运行通知

校分析测试中心购置的台阶仪（探针式表面轮廓仪）目前已经安装、调试完毕，拟于7月8日起面向校内师生开放运行，欢迎校内师生预约使用。

一、设备信息

设备名称：台阶仪（探针式表面轮廓仪）；

品牌：德国布鲁克；

型号：Dektak XT

二、设备配置与技术指标

1. 测试高度方向的重复性≤4 Å。（使用半径2µm探针，1σ在1µm标准台阶样品上。）

2. 垂直分辨率：1 Å (使用以2um半径探针，在6.55um范围内)。

3. 水平方向扫描范围：50µm-55mm。数据采样点可达120,000/扫描。

4. 探针压力范围：1mg至15mg可调。

5. 配置4英寸样品台，行程100mm*100mm。

6. 垂直测量范围：1mm。

三、测试原理

四、试运行办法

1. 试运行时间：2022年7月8日至7月22日；

2. 试运行模式：提前与测试老师联系，现场登录测试。

3. 收费标准：校内150元/小时，校外300元/小时，以半小时为基本计费单元。试运行期间半价收费，只对校内开放。

4. 样品说明和要求：台阶仪为接触式探测，可能会划伤样品。台阶最大高度小于1mm。若为沟槽结构，沟槽宽度需大于2.5um。光刻胶样品需要提前做烘烤，不接受黏附性大的样品测试。

5. 设备测试和放置地点：长安校区实验大楼C110扫描电镜室外间；

6. 设备管理老师：王杰；

7. 测试咨询电话：15929947710；

8. 注册账号流程网址：http://atc.nwpu.edu.cn/index/cslc.htm

9. 测试中心账号管理员：阎利茹，电话029-884604440