西北工业大学分析测试中心系列讲座（第九期）

一、报告题目：微纳加工技术中的科学原理

二、报告人：李西军 研究员（浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室副主任，西湖大学先进微纳加工与测试平台主任）

三、讲座时间：2019年4月19日（星期五），10:30-12:00

四、讲座地点：长安校区理学院383会议室

五、报告摘要：

    介绍微纳加工的历史和关键技术，重点分享电子束曝光、真空等离子刻蚀和镀膜工艺中涉及到的物理过程，并分享怎样利用科学原理开发新工艺的经验。

六、报告人简介：

    李西军 理学博士，研究员，浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室副主任，西湖大学先进微纳加工与测试平台主任。李西军博士师从经福谦院士，2000年毕业于中国工程物理研究院研究生部，获理学博士学位；有15年微纳加工技术开发和多年平台管理的经验。2004到2007年，在承担日本Pioneer公司先进集成非线性光学专项课题期间，发明绝缘层上铌酸锂（lithium niobite on insulation, LNoI）晶圆和聚焦离子束铁电畴纳米加工技术，是LNoI非线性集成光学器件的开拓者；随后发明扫描离子声学显微镜（Scanning Ion Acoustic Microscope, SIAM）。李西军博士曾获得国家基金委重大项目、国家基金委重点项目和科技部重大研发计划等子课题资助，发表学术论文40余篇，获得授权专利22项。

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