西北工业大学分析测试中心等离子刻蚀系统(ICP)培训讲座
报告人：廖春渊（牛津仪器ICP工艺工程师）
时 间：2018年3月29日14：00-16：00
地 点：理学院学术报告厅（位于理学院和自动化学院之间）
内容简介：
电感耦合等离子刻蚀（ICP）技术是材料微纳加工的关键技术，是微电子、光电子、微机械、微纳米光学等制备的基础。西北工业大学分析测试中心购置牛津Plasma Pro 100型号等离子刻蚀系统，安装在学校长安校区实验大楼B105超净实验室，近期正在进行安装调试。设备采用真空进样室，可进行快速的晶片更换，同时还配备了O2、Ar、CHF3、SF6、C4F8、CF4等多路工艺气体，设备可进行Si、SiO2、Si3N4、SiC等多种衬底材料的刻蚀加工。
本次技术讲座由设备厂家专业工程师主讲，介绍设备的主要技术特点，并对ICP工艺的关键过程进行技术培训。欢迎有兴趣的老师和同学参加。
讲座的详细信息可联系分析测试中心 王 杰 老师
咨询电话：15929947710
西北工业大学分析测试中心
2018/3/28
