特高分辨率场发射扫描电镜（SEM）正式运行通知

2018年5月30日起，长安校区特高分辨率场发射扫描电镜VeriosG4正式运行，欢迎大家预约测试。

一、            设备信息

1、  生产厂家：FEI

2、  型号：Verios G4

二、        技术指标

1、  同时装有二次电子和背散射电子探测器；

2、  配有电制冷能谱仪系统（预计六月份可使用）；

3、  二次电子分辨率在最佳工作距离时分辨率：0.6nm@15kV；1.2nm@0.2kV；

4、  加速电压：350V~30kV；着陆电压：20V~30kV；

5、  电子束流：0.8pA~100nA（连续可调）；

6、  物镜光阑能自加热自清洁；

7、  电子束减速模式：-50V~- 4 kV；

8、  集成等离子清洗器，可清洗样品或样品舱

三、        收费标准

1、  校内用户：200元/小时

2、  校外用户：500元/小时

3、  如需喷金，请在与SEM配套的长安校区离子溅射仪下面预约，收费：50元/次。

四、        运行时间说明

由于设备近期继续安装能谱及背散射等探测器，正式运行期间会有一些时间为技术维护预留，敬请全校师生谅解。

五、        设备放置地点

长安校区实验大楼C109；

六、        设备管理老师

朱燕灵：18682928994

陈  敏：15102923976

校分析测试中心

2018年5月30日