西湖大学李西军研究员来校讲座

                                                                   ——系列讲座九

4月19日，西湖大学先进微纳加工与测试平台主任、浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室副主任李西军研究员，应邀来校开展了题为《微纳加工技术中的科学原理》的报告。报告由分析测试中心副主任甘雪涛教授主持，来自理学院、微电子学院、动力与能源学院、机电学院、分析测试中心等的50余位师生参与。

李西军研究员从微纳加工技术在科学技术中的应用、微纳加工技术的起源、微纳加工技术中的科学原理、科学原理在微纳加工技术中的应用及我国微纳技术的现状和机遇五个方面进行了详细讲解。重点介绍了电子束曝光、真空等离子刻蚀和镀膜工艺中涉及到的物理过程，并分享了自己利用科学原理开发新工艺的经验。李西军研究员生动的讲解深深吸引着在场师生，现场气氛十分热烈。

报告结束后，李西军研究员以问答的形式和师生进行了深入的微纳加工技术交流讨论，对师生的每个问题都作了专业细致的解答。通过本次讲座，学校相关师生对于微纳加工技术有了更深刻的了解，中心相关工程技术人员对于微纳加工有了更系统的理解，有利于后续微纳加工工作的进行，达到了开展讲座预期的目的。