微区分析
特高分辨率场发射扫描电镜(SEM)
特高分辨率场发射扫描电镜
品牌:FEI
型号:Verios G4
简介:利用二次电子或背散射电子信号对金属材料、半导体材料及高分子材料等微观结构进行表面形貌及断口分析,并配合能谱仪对样品元素进行半定量分析。
品牌
FEI
型号
Verios G4
收费标准
校内:200元/小时,校外:500元/小时;
如需喷金,请在与SEM配套的长安校区离子溅射仪下面预约,收费:50元/次。
指标参数
同时装有二次电子和背散射电子探测器;
配有电制冷能谱仪系统;
二次电子分辨率在最佳工作距离时分辨率:0.6nm@15kV;1.2nm@0.2kV;
加速电压:350V~30kV;着陆电压:20V~30kV;
电子束流:0.8pA~100nA(连续可调);
物镜光阑能自加热自清洁;
电子束减速模式:-50V~ -4kV
集成等离子清洗器,可清洗样品或样品舱
主要应用
利用二次电子或背散射电子信号对金属材料、半导体材料及高分子材料等微观结构进行表面形貌及断口分析,并配合能谱仪对样品元素进行半定量分析。
放置地点
长安校区 实验大楼C109
负责人及联系方式
朱燕灵:18682928994
陈 敏:15102923976
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