Helios G4 CX 主机 稳定性：优于 0.4%/10h 二次电子分辨率在最佳工作距离时分辨率：：0.6nm@15kV；1.2nm@1kV 样品加工后，能快速切换到电子束检查与成像 背散射电子分辨率： 1.6nm@15kV 电子束和离子束交叉点、分析工作距离：4.0mm 加速电压：200V-30KV (电压范围连续可调) 束流强度：1pA - 100nA 配置可加热式物镜光阑，自动光澜，具有自动烘烤自清洁功能 电子束减速模式：- 4 kV ~ 0V 15kV加速电压，设备分辨率0.6 nm。 |
