1、纳米压痕模块 1.1力量加载方式:静电压驱动,非电磁驱动; 1.2压头压入样品方式:沿垂直方向; 1.3最大载荷:10mN,载荷分辨率:1nN; 1.4最大位移:5µm。 2、纳米划痕模块 2.1通过一个二维传感器,加载和检测横纵向的力量和位移; 2.2最大横向载荷力:2mN;最大横向位移:15µm。 3、纳米摩擦磨损模块 3.1通过压电陶瓷连带三板电容传感器进行磨损测试; 3.2磨损面积范围:1µm×1µm-75µm×75µm; 3.3纵向载荷范围:70 nN -1 mN。 4、高解析原位扫描成像模块 4.1扫描成像分辨率最高:4096×4096像素点; 4.2可以手动或者自动化设置测试位置及压痕或划痕阵列; 4.3单幅扫描体积:75µm×75µm×4µm。 |