品牌：NanoBeam Limitd 型号：nB5 简介：采用了高度聚焦的电子束对所需器件进行版图定义，可实现纳米量级的精度，满足超紧凑和超精细的纳米结构设计，是集成电路微纳器件和半导体精密掩膜制造的关键技术，是微电子、微机械、微纳米光学研究的必配设备。

品牌：Bruker 型号：Dimension FastScan和Dimension Icon 简介：Dimension系列扫描探针显微镜作为一种能够在原子尺度真实反应材料表面结构和性质的仪器，能够在大气环境下准确地观测样品表面纳米尺度的三维形貌，可对样品表面物理化学特性进行研究，如表面组分区别、表面电势、磁场力和其他表面力以及相互作用力的测量。

简介：X射线光电子能谱仪，是一种表面分析技术，可以提供元素的定性、半定量、化学成像、表面价态、深度剖析等信息。

品牌：FEI 型号：Verios G4 简介：利用二次电子或背散射电子信号对金属材料、半导体材料及高分子材料等微观结构进行表面形貌及断口分析，并配合能谱仪对样品元素进行半定量分析。