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高精度纳米力学测试系统 品牌：Hysitron型号：TI980 简介：该设备可完成微纳米尺度上材料力学性能测试和表征。可用于金属、聚合物、无机非金属、膜及复合材料等的纳米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损等力学性能测试，获得相关条件下的硬度、模量、摩擦系数、磨损等性能。并通过对材料表面的精细成像，获得材料表面的3D形貌图、表面粗糙度、压痕/划痕残余深度等物理量。
品牌：FEI 型号：Helios G4 CX 简介：Helios G4 CX聚焦离子/电子双束电镜将超高分辨率场发射电子镜筒和高精度的聚焦离子镜筒结合在一起，可对材料进行微纳米表征、微纳加工和TEM样品定点制备等。
品牌：FEI 型号：Talos F200X 简介：在二维和三维微纳米级尺度下对材料进行快速准确的形貌观察、晶体结构分析、定性定量表征和原位动态试验。
品牌：Oxford Instruments 型号：Plasma Pro 100 Cobra300 简介：可用于硅，二氧化硅，氮化硅，碳化硅表面微纳结构的刻蚀。六种标准工艺:High rate DSiE，High Aspect Ratio DSiE, SiO2 shallow etch(RIE Mode and ICP Mode),SiN etch, SiC etch.
品牌：英国Cryogenic 型号：CFMS-14T 简介：在低温强磁场下测量磁学，热学，电输运特性。
品牌：NanoBeam Limitd 型号：nB5 简介：采用了高度聚焦的电子束对所需器件进行版图定义，可实现纳米量级的精度，满足超紧凑和超精细的纳米结构设计，是集成电路微纳器件和半导体精密掩膜制造的关键技术，是微电子、微机械、微纳米光学研究的必配设备。
品牌：Hysitron 型号：PI95 简介：可以在透射电镜中精确地定位压头并对变形过程成像，同时得到定量的载荷和位移的数据。
品牌：Hysitron 型号：PI85 简介：可以在扫描电镜中精确地定位压头并对变形过程成像，同时得到定量的载荷和位移的数据。
品牌：Protochips 型号：Poseidon Select 简介：在透射电子显微镜内原位研究液体材料、液体加热和电化学性能。
品牌: Protochips 型号：Fusion 350 简介：能够在透射电镜内研究材料热学、电学和热电性能。
